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アイテム
電子ビームリソグラフィーにおける位置精度の制御についての研究
https://meisei.repo.nii.ac.jp/records/757
https://meisei.repo.nii.ac.jp/records/757d4ab92d1-4452-432b-93fa-06ae39016948
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
本文 (541.9 kB)
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.png)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2015-06-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 電子ビームリソグラフィーにおける位置精度の制御についての研究 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Prediction of positioning error in EB lithography | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
木村, 優樹
× 木村, 優樹× 合田, 一夫× Kimura, Masaki× Goda, Kazuo |
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| 書誌情報 |
明星大学理工学部研究紀要 en : Research bulletin of Meisei University School of Science and Engineering 号 51, p. 1-5, 発行日 2015-03-24 |
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| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 明星大学 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 13467239 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
