@article{oai:meisei.repo.nii.ac.jp:00000757,
 author = {木村, 優樹 and 合田, 一夫 and Kimura, Masaki and Goda, Kazuo},
 issue = {51},
 journal = {明星大学理工学部研究紀要, Research bulletin of Meisei University School of Science and Engineering},
 month = {Mar},
 pages = {1--5},
 title = {電子ビームリソグラフィーにおける位置精度の制御についての研究},
 year = {2015},
 yomi = {キムラ, マサキ and ゴウダ, カズオ}
}